该厂为84英寸晶圆引发线配建的超净水系统化，每一刻引发含硅焦化废水150吨。焦化废水底虽无血本属，但硅的含量高易积垢，且热敏电阻率需高达18MΩ·cm功能回收。原本有进行处理工学艺就没有办法实现新施行的《光电实业水影响物进行减排标》（GB39731-2020）尤其是进行减排允许值。 焦化废水组分特殊性 关键被污染的物 ：固体硅（200-300mg/L）、颗料硅（粒级0.1-1μm） 特殊的需要 ：TOC<10μg/L，硼含量<5μg/L 环境质量因素 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物形式繁复 除理工艺过程过程 去创新主要包括"梯级膜分离法+电去阴离子"组成艺： 微滤预进行处理 ：1μm瓷砖膜手机拦截大粒子硅，通量形成80LMH 铁离子更换光敏树脂 ：D201大孔光敏树脂选用性吸收硅酸分子式 下级RO软件 ：第一段利用率60%，第一段分为高脱硼膜pcb板 EDI电去阳离子 ：直流电压溶解度2A/m²，继续除去多余化合物 紫外光灭菌 ：254nm太阳光的紫外光线残留量40mJ/cm² 高技术新亮点 发展专门用阻硅剂（生物碳胺类分手后复合物），推迟膜严重污染过渡期3倍 EDI模组的创新流道设计构思，硅弄掉率大幅提升至99.8% 线硅解析仪（估测面积0.1-500μg/L）设定精准性的设定 使用认真总结 经第二方检测工具： 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼硫含量从8μg/L降到0.3μg/L 系統收售率从原40%升级至68% 膜改换期限提升至5年，年运转成本低减少35%