该晶圆生产销售的加工厂处在华南中北部,一般生产销售的8寸大半导体器件晶圆,单日废水处理释放口量约800吨。可能生产销售的操作过程中利用大规模氢佛酸完成晶圆蚀刻,出现废水处理中氟化物盐浓度可高达200-300mg/L,远超国内释放口准则(10mg/L下面)。
化工废水成分表及来历
化工废水常见产自五个基本原则:
晶圆蚀刻步骤
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、硝酸铵及极少量天价属
化工机械装备增加光泽(CMP)生活污水
:含微米级硅科粒、有机质络合剂
设施洗涤废污水
:含异丙醇、化学需氧量等有机质物
正确处理新工艺方法
利用"化学物质积淀+沥青混凝土积淀+宽度脱水"二级解决模式:
1阶段加工处理
:加药系统氯化钙和氢氧化的钙,建成氟化钙石雕文化沉淀,氟化物清除率达85%
中级进行处理
:修改PAC(聚合物氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),我们要除溶液态被污染的物
3级外理
:能够多物料滤过器和特异性炭吸咐,冒水氟化物质量浓度平稳在8mg/L有以下
首要设施设备涉及:pH主动转换系统性、斜管沉定池、板框板框压滤机(活性污泥脱水烘干)。
最后功能
活动运营两年监测数值数值彰显:
氟化物月均有机废气浓度:7.2mg/L(不高于发达国家要求)
COD清掉率:92%
淤泥水分含量率:≤65%
年回收公司氟化钙副好产品约150吨,实现目标资源的化使用